2021105232912：基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件及其制备方法

专利名称	【2021105232912】基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件及其制备方法					响应
生效日期	2025-10-28	许可期限	2026-04-30	专利权人	山东大学
许可费方式	无偿	支付标准	0元
联系人	宋硕	联系电话	0531-88369587	电子邮件	jszy@sdu.edu.cn
地址邮编	山东省济南市山大南路27号山东大学中心校区明德楼B441 250199
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