2019101428211：一种溅射离子泵的磁路结构及溅射离子泵

专利名称	【2019101428211】一种溅射离子泵的磁路结构及溅射离子泵					响应
生效日期	2024-11-29	许可期限	2039-02-24	专利权人	东北大学
许可费方式	一次付清	支付标准	采用一次总付的方式，在合同生效后15日内一次性全额支付所有使用费500000元。
联系人	黄轶泽	联系电话	024-83671445	电子邮件
地址邮编	辽宁省沈阳市和平区文化路三号巷11号 110819
行业分类		技术领域
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