2018111688920：一种基于MEMS工艺的多层结构离子源芯片及质谱分析进样系统

专利名称	【2018111688920】一种基于MEMS工艺的多层结构离子源芯片及质谱分析进样系统					响应
生效日期	2024-11-29	许可期限	2038-10-06	专利权人	东北大学
许可费方式	一次付清	支付标准	采用一次总付的方式，在合同生效后15日内一次性全额支付所有使用费1000000元。
联系人	黄轶泽	联系电话	024-83671445	电子邮件
地址邮编	辽宁省沈阳市和平区文化路三号巷11号 110819
行业分类		技术领域
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