本实用新型属于声表面波滤波器生产技术领域，公开了一种用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置及控温方法。用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置包括精密阻抗分析仪、保温仓和温度采集单元，精密阻抗分析仪的测试端放置有待测的SAW器件；保温仓包括箱体和控制箱体内部温度的温度控制器，精密阻抗分析仪的测试端与保温仓的内壁连接；温度采集单元包括置于箱体内部的第一温度传感器和靠近精密阻抗分析仪的测试端的第二温度传感器。控温方法应用于上述的用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置中。本实用新型提供的用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置及控温方法，解决现有技术中存在的传感时间长、测量精度差、不能原位测量等问题。 |
