本公开提供的离子氮碳硫多元共渗设备、处理系统及方法，设备包括：炉体；位于炉体内的工件盘；位于炉体内的工件盘上方的阳极板；位于炉体内的工件盘下方的辅助阴极；位于炉体内的工件盘、阳极板和辅助阴极外围的空心阴极筒；第一电源，用于为空心阴极筒和辅助阴极提供脉冲电压的第一电源；和用于为工件盘提供脉冲偏置电压的第二电源。系统包括：离子氮碳硫多元共渗设备、变压器、真空泵、供气瓶和电气控制柜。方法包括向炉体内通入含有氮、氢、碳和硫元素的气体，并控制第一电源和第二电源的关断。本公开可提高离子扩渗炉内的离子体密度，有效增加扩渗层厚度和表面硬度，以此提高扩渗质量，同时方便阳极清洗。