本公开提供的离子氮碳硫多元共渗辅助设备、处理系统及方法，辅助设备包括：放置在离子扩渗炉的炉体顶部的空心阴极离子源，放置于炉体侧壁上的绝缘壳体，和多个同轴且由内至外依次间隔排布于绝缘壳体内的电磁铁，相邻两个电磁铁的绕线方式相反，多个电磁铁用于在离子扩渗炉内形成可控的磁场，以改变金属工件表面电子的运动轨迹和金属工件的磁畴。处理系统包括：离子扩渗炉、离子氮碳硫多元共渗辅助设备、变压器、真空泵、供气瓶和电气控制柜。处理方法包括向炉体内通入含有氮元素、碳元素、氢元素和硫元素的气体，并向金属工件提供可控的磁场。本公开可减少工件表面硫化物的间隙，使硬度呈现缓慢下降的趋势，提高工件表面硬度和使用寿命。