2020105640423：一种HfO<sub>2</sub>基铁电电容器及其制备方法和HfO<sub>2</sub>基铁电存储器

专利名称	【2020105640423】一种HfO₂基铁电电容器及其制备方法和HfO₂基铁电存储器
合同备案号	X2025990000125	备案日期	2025-03-24	许可人	中国科学院微电子研究所
许可类型	普通许可	被许可人	北京艾捷科芯科技有限公司
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