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专利名称 2017200465188一种安全可靠的磁控溅射仪
合同备案号 X2019980000584 备案日期 2019-11-13 许可人 福建省诺希科技园发展有限公司
许可类型 普通许可 被许可人 福建省诺希新材料科技有限公司
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