2013100202653：基于硅通孔技术的微型电容式壁面剪应力传感器制作方法

专利名称	【2013100202653】基于硅通孔技术的微型电容式壁面剪应力传感器制作方法
合同备案号	2018610000015	备案日期	2018-04-24	许可人	西北工业大学
许可类型	普通许可	被许可人	西安赛锐特机电测控科技有限公司
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