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专利名称 2020114464204一种碳化硅刻蚀工艺腔体装置及使用方法
合同备案号 X2023980034326 备案日期 2023-04-04 许可人 无锡邑文电子科技有限公司
许可类型 排他许可 被许可人 江苏邑文微电子科技有限公司
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