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专利许可
专利名称
【
2020114464204
】
一种碳化硅刻蚀工艺腔体装置及使用方法
合同备案号
X2023980034326
备案日期
2023-04-04
许可人
无锡邑文电子科技有限公司
许可类型
排他许可
被许可人
江苏邑文微电子科技有限公司
浏览人次
7
备 注
【关 闭】