2015800287998：新型钌化合物、其制备方法、包含其的膜沉积用前体组合物及利用前体组合物的膜沉积方法

专利名称	【2015800287998】新型钌化合物、其制备方法、包含其的膜沉积用前体组合物及利用前体组合物的膜沉积方法
合同备案号	X2022990000316	备案日期	2022-06-21	许可人	UP化学株式会社
许可类型	独占许可	被许可人	江苏先科半导体新材料有限公司
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