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专利名称 2016101240779MEMS气密性封装结构及封装方法
合同备案号 X2021610000005 备案日期 2021-05-27 许可人 华天科技(昆山)电子有限公司
许可类型 普通许可 被许可人 华天科技(南京)有限公司
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