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专利名称 2013101970284一种双频离子源
合同备案号 2016320000080 备案日期 2016-03-02 许可人 无锡启晖光电科技有限公司
许可类型 独占许可 被许可人 江苏宜达新材料科技股份有限公司
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【关 闭】