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专利许可
专利名称
【
2008101200118
】
一种实现工件外表面均匀镀膜的磁控溅射装置及方法
合同备案号
X2022980023396
备案日期
2022-11-25
许可人
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
许可类型
普通许可
被许可人
宁波泰丰源电气有限公司
浏览人次
17
备 注
【关 闭】
