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专利名称 2013104790599MEMS扫描振镜的磁场系统
合同备案号 2015320010159 备案日期 2015-11-26 许可人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
许可类型 独占许可 被许可人 常州创微电子机械科技有限公司
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