2018101221993：一种利用激光处理衬底生长低应力自支撑GaN单晶的方法

专利名称	【2018101221993】一种利用激光处理衬底生长低应力自支撑GaN单晶的方法
合同备案号	2018370000043	备案日期	2018-10-11	许可人	山东大学
许可类型	独占许可	被许可人	山东加睿晶欣新材料股份有限公司
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