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专利名称 2012105935001一种能自动调压的干式真空泵控制方法
合同备案号 2016210000008 备案日期 2016-02-03 许可人 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
许可类型 独占许可 被许可人 上海上凯仪真空技术有限公司
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