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专利许可
专利名称
【
2011100736242
】
清洁气体输送装置的方法、生长薄膜的方法及反应装置
合同备案号
2018990000345
备案日期
2018-12-17
许可人
中微半导体设备（上海）有限公司
许可类型
独占许可
被许可人
南昌中微半导体设备有限公司
浏览人次
1
备 注
【关 闭】
