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开放许可
专利许可
专利名称
【
2017103364126
】
一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置
合同备案号
X2023980038562
备案日期
2023-07-28
许可人
华中科技大学
许可类型
普通许可
被许可人
苏州晟成光伏设备有限公司
浏览人次
9
备 注
【关 闭】
