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专利名称 2020107752832用于CVD设备的方法及相应的CVD设备
合同备案号 X2023980036582 备案日期 2023-06-14 许可人 理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司
许可类型 普通许可 被许可人 合肥瑞硕科技有限公司
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【关 闭】