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专利名称 2010101242480一种龙门式硅片转移机构
合同备案号 2016320010013 备案日期 2016-03-08 许可人 无锡先导智能装备股份有限公司
许可类型 独占许可 被许可人 江苏微导纳米装备科技有限公司
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【关 闭】