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专利名称 2008101200118一种实现工件外表面均匀镀膜的磁控溅射装置及方法
合同备案号 X2023980032162 备案日期 2023-02-16 许可人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
许可类型 普通许可 被许可人 宁波君灵模具技术有限公司
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