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专利名称 2013105691938一种电子级多晶硅生产中回收氢气的净化处理工艺
合同备案号 X2022990000325 备案日期 2022-06-27 许可人 新特能源股份有限公司
许可类型 普通许可 被许可人 新特硅基新材料有限公司
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