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专利名称 2007101380008作为用于CVD前体的低杂质有机硅产品
合同备案号 X2022990000975 备案日期 2022-12-01 许可人 弗萨姆材料美国有限责任公司
许可类型 普通许可 被许可人 慧瞻材料科技(上海)有限公司
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