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专利名称 2011103764386一种硅的氧化钝化方法及钝化装置
合同备案号 2016320000091 备案日期 2016-03-07 许可人 中国科学院物理研究所
许可类型 独占许可 被许可人 江苏荣马新能源有限公司
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