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专利许可
专利名称
【
2014101268629
】
用于周期性光刻图形尺寸监控的方法
合同备案号
2016320010011
备案日期
2016-03-03
许可人
海迪科(苏州)光电科技有限公司
许可类型
独占许可
被许可人
海迪科（南通）光电科技有限公司
浏览人次
20
备 注
【关 闭】
