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专利名称 2016108986323旁热式微传感器及其制造方法
合同备案号 2019310000004 备案日期 2019-01-07 许可人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
许可类型 普通许可 被许可人 苏州慧闻纳米科技有限公司
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