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专利名称 201521144717X一种化学气相沉积炉用石墨沉积装置
合同备案号 X2020110000016 备案日期 2020-07-23 许可人 安徽光智科技有限公司
许可类型 普通许可 被许可人 广东先导先进材料股份有限公司
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【关 闭】