2010105935089：一种清除第Ⅲ族元素和第V族元素化合物沉积物残余的方法

专利名称	【2010105935089】一种清除第Ⅲ族元素和第V族元素化合物沉积物残余的方法
合同备案号	2018990000345	备案日期	2018-12-17	许可人	中微半导体设备（上海）有限公司
许可类型	独占许可	被许可人	南昌中微半导体设备有限公司
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