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专利名称 2018103325751一种光电探测器用重掺硅衬底制备高阻外延层的方法
合同备案号 X2024980004262 备案日期 2024-04-15 许可人 中国电子科技集团公司第四十六研究所
许可类型 普通许可 被许可人 中电晶华(天津)半导体材料有限公司
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