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专利名称 2019210885071片状体交接装置及采用该装置的硅片膜厚测量系统
合同备案号 X2023980038370 备案日期 2023-07-24 许可人 上海隐冠半导体技术有限公司
许可类型 普通许可 被许可人 苏州隐冠半导体技术有限公司
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