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专利名称 2017215707122一种厚胶光刻用烘焙装置
合同备案号 X2019510000010 备案日期 2019-12-30 许可人 四川云盾光电科技有限公司
许可类型 普通许可 被许可人 四川芯辰光微纳科技有限公司
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