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专利许可
专利名称
【
2022109534761
】
电感耦合等离子体刻蚀系统及其刻蚀控制方法
合同备案号
X2024980004101
备案日期
2024-04-09
许可人
无锡邑文微电子科技股份有限公司
许可类型
排他许可
被许可人
江苏邑文微电子科技有限公司
浏览人次
0
备 注
【关 闭】