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专利许可
专利名称
【
2012103059898
】
一种调节基片表面温度的控温系统和控温方法
合同备案号
2018990000345
备案日期
2018-12-17
许可人
中微半导体设备（上海）有限公司
许可类型
独占许可
被许可人
南昌中微半导体设备有限公司
浏览人次
0
备 注
【关 闭】
