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专利名称 2011800551672基于二氮杂二烯的金属化合物、其生产方法和使用其形成薄膜的方法
合同备案号 X2022990000316 备案日期 2022-06-21 许可人 UP化学株式会社
许可类型 独占许可 被许可人 江苏先科半导体新材料有限公司
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