2010206951883：用于金属有机化学气相沉积反应器的气体分布装置及反应器

专利名称	【2010206951883】用于金属有机化学气相沉积反应器的气体分布装置及反应器
合同备案号	2018990000345	备案日期	2018-12-17	许可人	中微半导体设备（上海）有限公司
许可类型	独占许可	被许可人	南昌中微半导体设备有限公司
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