2018212806135：磁控溅射平面阴极镀膜机用阴极背板及磁控溅射平面阴极镀膜机

专利名称	【2018212806135】磁控溅射平面阴极镀膜机用阴极背板及磁控溅射平面阴极镀膜机
合同备案号	X2023110000110	备案日期	2023-09-05	许可人	东旭光电科技股份有限公司
许可类型	普通许可	被许可人	湖南蓝芯微电子科技有限公司
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