2012103984605：一种用于提高电容式微机械传感器温度稳定性的方法及微机械传感器

专利名称	【2012103984605】一种用于提高电容式微机械传感器温度稳定性的方法及微机械传感器
合同备案号	2016430000031	备案日期	2016-12-20	许可人	中国人民解放军国防科学技术大学
许可类型	排他许可	被许可人	湖南天羿领航科技有限公司
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