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专利名称 2011101089216一种多晶硅薄膜的制备方法
合同备案号 X2023980034355 备案日期 2023-03-31 许可人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
许可类型 普通许可 被许可人 象山天星汽配有限责任公司
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