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专利名称 2018105022838一种基于波形匹配的石英晶片研磨控制系统
合同备案号 X2022980021547 备案日期 2022-11-14 许可人 浙江大学台州研究院
许可类型 普通许可 被许可人 台州智科飞创科技有限公司
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