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专利名称 2019218034443一种防止研磨液结晶的半导体研磨机用喷水装置
合同备案号 X2023980034386 备案日期 2023-04-03 许可人 上海裕诗实业有限公司
许可类型 普通许可 被许可人 南京裕诗半导体有限公司
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