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专利名称 2013107285924低温多晶硅薄膜的制备方法及其制作系统
合同备案号 2016440020109 备案日期 2016-12-22 许可人 深圳市华星光电技术有限公司
许可类型 独占许可 被许可人 武汉华星光电技术有限公司
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