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2026-02-03
【2011103914472】半导体器件制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010105917945】半导体晶片的制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012103937801】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013102865459】鳍型场效应晶体管及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【201811614851X】半导体结构与其制作方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015105804174】一种形成自对准接触部的方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012104478511】鳍结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012100558273】围栅结构的鳍式半导体器件的制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【201510516131X】具有均匀阈值电压分布的半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012102468303】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012103936692】半导体器件制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2016100689776】EUV设计规则、光源和掩模的联合优化和成像建模方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015103752086】一种金属薄膜溅射的PVD工艺 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013106301807】半导体装置及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2019103245130】孔型结构工艺质量的检测方法、检测装置、存储介质和处理器 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011103623509】一种半导体结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015108100178】光源掩模协同优化方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015105488336】一种外延结构及方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011102150692】半导体器件的制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2018112916708】半导体器件与其制作方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
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