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2018-12-17
【201110282861X】一种半导体处理设备及其气体喷淋头冷却板 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2011202319297】一种用于化学气相沉积工艺的反应器 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2010105935089】一种清除第Ⅲ族元素和第V族元素化合物沉积物残余的方法 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2012101995484】真空处理装置及控制制程颗粒沉积路径的方法 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2014104385319】一种用于MOCVD反应系统的晶圆载盘 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2012103649560】一种原位清洁MOCVD反应腔室的方法 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2014108387239】气体喷淋头和沉积装置 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2012100657635】金属有机气相沉积装置 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2012100967167】具有遮挡板装置的反应器 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2012202222506】气体喷淋结构 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2010206951883】用于金属有机化学气相沉积反应器的气体分布装置及反应器 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2011200835987】在基片上生长薄膜的反应装置 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2012102598735】金属有机化合物外延生长反应室及其排气装置、排气方法 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2012202480048】一种带有控温装置的气体喷淋装置以及真空处理装置 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2011100736242】清洁气体输送装置的方法、生长薄膜的方法及反应装置 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2011201350381】气体输送装置及使用该气体输送装置的反应器 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-17
【2012103059898】一种调节基片表面温度的控温系统和控温方法 （许可人：中微半导体设备（上海）有限公司）
2018-12-12
【2015106428811】半导体结构 （许可人：黄智方）
2018-12-12
【2015104893471】一种具有健脑功能的药酒 （许可人：钟传新）
2018-12-12
【2008100926705】厨用切碎机 （许可人：美国哈普蓝思公司）
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