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属 地 济南 历下 专利申请号 2019104125846 专利权人 济南市半导体元件实验所
申请日 2019-05-17 授权日 2020-02-04 专利名称 一种提高蒸铝均匀度的装置、设备及方法
关键词 应用领域
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    先进有色金属材料
地 址 山东省济南市历下区和平路51号
运营方式 普通许可,专利转移 合作方式 普通技术转移
联系人 王大伟 联系电话 13708925422 电子邮箱
详细说明
【关 闭】