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专利名称 2019112204159太赫兹焦平面探测器的封装结构及其制作方法
合同备案号 X2025980048405 备案日期 2025-12-29 许可人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
许可类型 普通许可 被许可人 安徽中科太赫兹科技有限公司
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