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专利名称 2019103405394基于超晶格异质结构的垂直腔面发射激光器阵列及其制备方法
合同备案号 X2025980050182 备案日期 2026-01-05 许可人 北京工业大学
许可类型 开放许可 被许可人 上海筑迈一芯信息科技有限公司
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