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专利名称 2016107524558一种激光刻蚀的上下振动辅助装置及使用方法
合同备案号 X2025980043557 备案日期 2025-12-10 许可人 桂林电子科技大学
许可类型 普通许可 被许可人 桂林光束科技有限公司
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