2019108970511：一种AlCrSiN/Mo自润滑薄膜的复合磁控溅射制备方法

专利名称	【2019108970511】一种AlCrSiN/Mo自润滑薄膜的复合磁控溅射制备方法
合同备案号	X2025980043329	备案日期	2025-12-09	许可人	天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）
许可类型	普通许可	被许可人	天津涂冠科技有限公司
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