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专利名称 2025101783242基于布里渊光谱的晶圆检测方法及相关设备
合同备案号 X2025980046273 备案日期 2025-12-19 许可人 季华实验室
许可类型 开放许可 被许可人 佛山云筹科技有限公司
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